Verfahren zur Korrektur eines Reflektiven Optischen Elements für den Wellenlängenbereich von 5 Nm Bis 20 Nm

EP3589989 Art B1 11. Oktober 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3589989
Aktenzeichen: EP18710785
Anmeldetag: 27. Februar 2018
Veröffentlichung: 11. Oktober 2023
Erteilung: 11. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02B1/12G02B5/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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