Herstellung von 2,2,4,4-Tetrasilylpentasilan in Gegenwart von Lewis-Säuren

EP3590889 Art B1 2. Dezember 2020

Anmelder: Evonik Operations GmbH, Technische Universität Graz 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3590889
Aktenzeichen: EP18181980
Anmeldetag: 5. Juli 2018
Veröffentlichung: 2. Dezember 2020
Erteilung: 2. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C01B33/04H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Evonik Operations GmbH
Technische Universität Graz
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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