Substratträgereinheit und Filmbildungsvorrichtung mit Substratträgereinheit
EP3591690
Art B1
5. Oktober 2022
Anmelder: NHK Spring Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3591690
- Aktenzeichen
- EP18760416
- Anmeldetag
- 30. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 5. Oktober 2022
- Erteilung
- 5. Oktober 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31H01L21/3065H01L21/683H01L21/203H01L21/67H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NHK Spring Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
NHK Spring
Japanischer Automobilzulieferer mit Sitz in Yokohama, spezialisiert auf Federungssysteme, Sitzkomponenten und Festplattenaufhängungen.
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