Vakuumpumpenabgassystem und Vakuumpumpenabgasverfahren
EP3594504
Art B1
8. Mai 2024
Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3594504
- Aktenzeichen
- EP18764783
- Anmeldetag
- 2. März 2018
- Veröffentlichung
- 8. Mai 2024
- Erteilung
- 8. Mai 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Japan Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Edwards Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
290 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Norton, Ian Andrew
Burgess Hill, Großbritannien
310
Patente gesamt
18
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Openshaw & Co
Openshaw & Co · Onex