Waferzuführvorrichtung
EP3594995
Art B1
21. April 2021
Anmelder: Fuji Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3594995
- Aktenzeichen
- EP17899570
- Anmeldetag
- 9. März 2017
- Veröffentlichung
- 21. April 2021
- Erteilung
- 21. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fuji Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fuji Machine Mfg.
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chiryu, das Bestückungsautomaten und Fertigungssysteme für die Elektronikindustrie herstellt.
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