Kontaktloses Temperaturkalibrationswerkzeug für einen Substratträger und Verfahren zur Verwendung davon

EP3596436 Art B1 20. Dezember 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3596436
Aktenzeichen: EP18766901
Anmeldetag: 9. März 2018
Veröffentlichung: 20. Dezember 2023
Erteilung: 20. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01J5/12G01J5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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