Nano-Imprint-Lithografieverfahren und daraus Erhältliches, Strukturiertes Substrat

EP3596544 Art B1 22. September 2021

Anmelder: Université d'Aix-Marseille, Centre National de la Recherche Scientifique, SORBONNE UNIVERSITE, Université Paris-Saclay, Universite Paris-Sud 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3596544
Aktenzeichen
EP18712113
Anmeldetag
8. März 2018
Veröffentlichung
22. September 2021
Erteilung
22. September 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Université d'Aix-Marseille
Centre National de la Recherche Scientifique
SORBONNE UNIVERSITE
Université Paris-Saclay
Universite Paris-Sud
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Université d'Aix-Marseille

Die Université d'Aix-Marseille ist eine französische Universität mit umfangreicher Forschung in Medizin, Naturwissenschaften und Technik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch organische Chemie und Pharma. Anmeldungen laufen von 2005 bis 2025.

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