Beschichtungsvorrichtung und Beschichtungsverfahren

EP3597310 Art A1 22. Januar 2020

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3597310
Aktenzeichen
EP17901031
Anmeldetag
1. Dezember 2017
Veröffentlichung
22. Januar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
B05C11/10B05C5/02B05D3/00B05D7/00H01M4/88H01M8/02H01M8/10H01M4/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

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