Strahlungsempfindliche Zusammensetzung und Musterformungsverfahren

EP3598232 Art A1 22. Januar 2020

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3598232
Aktenzeichen
EP18767624
Anmeldetag
26. Januar 2018
Veröffentlichung
22. Januar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004G03F7/038G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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