Steuergerät zur Steuerung eines Räumlichen Lichtmodulators

EP3598236 Art A1 22. Januar 2020

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3598236
Aktenzeichen: EP18767400
Anmeldetag: 14. März 2018
Veröffentlichung: 22. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/09G03F7/20G03F7/00// G02B26/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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