Verfahren zur Lokalisierung von Montagefehlern
EP3601988
Art B1
7. September 2022
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3601988
- Aktenzeichen
- EP18716135
- Anmeldetag
- 21. März 2018
- Veröffentlichung
- 7. September 2022
- Erteilung
- 7. September 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01M7/02G01M11/08G03F7/20G01H1/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
LangPatent Anwaltskanzlei IP Law Firm
München, Deutschland
LangPatent Anwaltskanzlei wird von Dr.-Ing. Christian Lang geleitet und sitzt im Münchner Norden. Die international ausgerichtete Kanzlei begleitet Patent-, Marken- und Designangelegenheiten von der Anmeldung bis zur gerichtlichen Durchsetzung, mit einem Team aus Wissenschaftlern, Ingenieuren und fremdsprachigen Fachkräften.
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