Geladenes Teilchenstrahlsystem und Verfahren
EP3602600
Art A1
5. Februar 2020
Anmelder: Carl Zeiss MultiSEM GmbH, Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3602600
- Aktenzeichen
- EP18714725
- Anmeldetag
- 15. März 2018
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/244H01J37/147H01J37/09H01J37/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Carl Zeiss Microscopy GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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