Verfahren zur Anpassung des Spannungszustands eines Piezoelektrischen Films und Akustikwellenvorrichtung mit Verwendung Solch eines Films

EP3602644 Art B1 21. Februar 2024

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3602644
Aktenzeichen
EP18722093
Anmeldetag
27. März 2018
Veröffentlichung
21. Februar 2024
Erteilung
21. Februar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H10N30/079H10N30/00H01L21/20H01L21/762H10N30/073// H03H3/08H03H9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soitec
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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