Vakuumpumpe, Hauptsensor und Schraubnutstator

EP3605008 Art B1 24. August 2022

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3605008
Aktenzeichen
EP18771283
Anmeldetag
2. März 2018
Veröffentlichung
24. August 2022
Erteilung
24. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D27/00G01B7/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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