Verbindung, Resistzusammensetzung mit Dieser Verbindung und Musterherstellungsverfahren unter Verwendung der Resistzusammensetzung

EP3605225 Art A1 5. Februar 2020

Anmelder: The School Corporation Kansai University, Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3605225
Aktenzeichen: EP18774619
Anmeldetag: 30. März 2018
Veröffentlichung: 5. Februar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/038G03F7/004G03F7/027C07H13/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The School Corporation Kansai University
Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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