Polierzusammensetzung und Polierverfahren

EP3605589 Art A1 5. Februar 2020

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3605589
Aktenzeichen
EP18776892
Anmeldetag
28. Februar 2018
Veröffentlichung
5. Februar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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