Mobile Körpervorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3611572 Art B1 5. April 2023

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3611572
Aktenzeichen: EP19196657
Anmeldetag: 26. Juni 2014
Veröffentlichung: 5. April 2023
Erteilung: 5. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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