Systeme und Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen durch Entfernte Epitaxie

EP3613081 Art A1 26. Februar 2020

Anmelder: Massachusetts Institute Of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3613081
Aktenzeichen
EP18788160
Anmeldetag
18. April 2018
Veröffentlichung
26. Februar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/04H01L29/16H01L21/027H01L51/52H01L21/47H01L21/306H01L21/32H01L21/3213
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Massachusetts Institute Of Technology
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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