Lichtempfindliche Zusammensetzung für Euv-Licht, Mustererzeugungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung

EP3614206 Art B1 13. März 2024

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3614206
Aktenzeichen: EP18787556
Anmeldetag: 12. April 2018
Veröffentlichung: 13. März 2024
Erteilung: 13. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039G03F7/004G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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