Negative Resistformulierung zur Herstellung von Unterschnittmusterprofilen

EP3616004 Art A1 4. März 2020

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3616004
Aktenzeichen
EP18722419
Anmeldetag
23. April 2018
Veröffentlichung
4. März 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/038
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Merck Patent GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Kanzlei
Isenbruck Bösl Hörschler PartG mbB Mannheim, Deutschland

Mannheimer Patentanwaltskanzlei mit fachlich-wissenschaftlichem Team in Chemie, Verfahrenstechnik, Polymeren und Kunststofftechnik, Biotech, Pharma und Life Sciences, Mechanik und Optik sowie Elektrotechnik, Digital und KI.

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