Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen von Halbleiterdrahtbonding-Maschinen

EP3616238 Art A1 4. März 2020

Anmelder: Entegris, Inc., International Test Solutions, LLC., International Test Solutions, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3616238
Aktenzeichen
EP17907963
Anmeldetag
27. Oktober 2017
Veröffentlichung
4. März 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/60B23K20/00B23K20/26B08B1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
International Test Solutions, LLC.
International Test Solutions, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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