Entladungslampe, Anschlusskabel. Lichtquellenvorrichtung und Belichtungsvorrichtung

EP3617588 Art B1 24. März 2021

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3617588
Aktenzeichen
EP19186528
Anmeldetag
3. April 2008
Veröffentlichung
24. März 2021
Erteilung
24. März 2021
Rechtsraum
EP
IPC
F21V29/00H01J5/50H01J61/52H01L21/027F21Y101/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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