Entladungslampe, Anschlusskabel. Lichtquellenvorrichtung und Belichtungsvorrichtung
EP3617588
Art B1
24. März 2021
Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3617588
- Aktenzeichen
- EP19186528
- Anmeldetag
- 3. April 2008
- Veröffentlichung
- 24. März 2021
- Erteilung
- 24. März 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F21V29/00H01J5/50H01J61/52H01L21/027F21Y101/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nikon Corporation
NIKON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München