Drucksensor und Verfahren zur Druckmessung
Anmelder: Melexis Technologies NV 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3617686
- Aktenzeichen
- EP18192032
- Anmeldetag
- 31. August 2018
- Veröffentlichung
- 27. Oktober 2021
- Erteilung
- 27. Oktober 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00G01L19/06G01L19/14
Abstract
A pressure sensor device comprises a device package (110) arranged to define a cavity (116) having an opening for fluid communication with an internal volume thereof. The cavity (116) comprises a side wall (114, 115). An elongate pressure sensor element (100) is provided and has a proximal end (120) and a distal end (122). The side wall (114, 115) is arranged to hold fixedly the proximal end (120) of the pressure sensor element (100) therein so that the pressure sensor element (100) is cantilever-suspended from the side wall (114, 115) within the cavity (116).
Anmelder
- Firma
- Melexis Technologies NV
- Land
- 🇧🇪 Belgien
Halbleiterunternehmen mit belgischen Wurzeln und Schweizer Sitz, entwickelt integrierte Sensor- und Treiberschaltkreise für Automobil- und Industrieelektronik.
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Fachgebiete
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