Objektmanipulationsvorrichtung und Objektmanipulationsverfahren

EP3623461 Art A1 18. März 2020

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3623461
Aktenzeichen
EP18797890
Anmeldetag
13. März 2018
Veröffentlichung
18. März 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C12M1/00B01L3/00C12M3/06C12M1/42C12M1/36G02B21/36G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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