Bildgebungsvorrichtung mit Multi-Elektronen-Strahl mit Verbesserter Leistung

EP3624167 Art A1 18. März 2020

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3624167
Aktenzeichen
EP18194496
Anmeldetag
14. September 2018
Veröffentlichung
18. März 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/04H01J37/06H01J37/147H01J37/153
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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