Wirbelbettfilter mit Körnigem Absorbens

EP3624918 Art A2 25. März 2020

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3624918
Aktenzeichen
EP18802199
Anmeldetag
15. Mai 2018
Veröffentlichung
25. März 2020
Rechtsraum
EP
IPC
B01D39/14B01D46/00B01D53/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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