Vorrichtung mit Metalloxidhaltigen Schichten

EP3631580 Art A1 8. April 2020

Anmelder: Evonik Operations GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3631580
Aktenzeichen
EP18728555
Anmeldetag
23. Mai 2018
Veröffentlichung
8. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004H01L51/52H05B33/12H01L51/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Evonik Operations GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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