Zyklonsammler

EP3632571 Art B1 11. September 2024

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3632571
Aktenzeichen: EP18808720
Anmeldetag: 29. Januar 2018
Veröffentlichung: 11. September 2024
Erteilung: 11. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B04C5/04B04C9/00B01D47/00G01N1/02G01N1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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