Verfahren zur Herstellung von Halbleiterkondensatoren Unterschiedlicher Kapazitätswerte in einem Halbleitersubstrat
EP3633724
Art B1
21. April 2021
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3633724
- Aktenzeichen
- EP19199720
- Anmeldetag
- 26. September 2019
- Veröffentlichung
- 21. April 2021
- Erteilung
- 21. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L27/10H01L29/66H01L29/94// H01L21/78H01L23/64H01L27/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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Patentanwalt Dr. Roland Gagel
München, Deutschland
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