Mikroelektromechanisches (mems) Fabry-Perot-Interferometer, Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Fabry-Perot-Interferometers

EP3635351 Art B1 22. März 2023

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3635351
Aktenzeichen: EP18828785
Anmeldetag: 29. Juni 2018
Veröffentlichung: 22. März 2023
Erteilung: 22. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01J3/26G02B26/00G01B9/02G02B5/28B81B3/00B81B7/00G01J3/45G01J3/02// G01J3/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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