Prozesssatz für eine Mehrkathoden-Verarbeitungskammer

EP3635767 Art B1 26. Oktober 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3635767
Aktenzeichen: EP18812642
Anmeldetag: 5. Juni 2018
Veröffentlichung: 26. Oktober 2022
Erteilung: 26. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34H01J37/32C23C14/35C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von