Hochdruckbehandlung von Siliciumnitridfilm

EP3635769 Art A1 15. April 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3635769
Aktenzeichen: EP18805265
Anmeldetag: 24. Mai 2018
Veröffentlichung: 15. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/318H01L21/67H01L21/687C23C16/34C23C16/46C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von