Hf-Impulsflankenformung

EP3637617 Art B1 24. September 2025

Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3637617
Aktenzeichen
EP19195244
Anmeldetag
24. Oktober 2013
Veröffentlichung
24. September 2025
Erteilung
24. September 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H03K5/01H05H1/46H03K5/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
MKS Inc.
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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