Supraleitende Siliziumdurchkontaktierungen und Ihre Herstellungsmethode

EP3639295 Art B1 13. September 2023

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3639295
Aktenzeichen
EP17811292
Anmeldetag
7. Dezember 2017
Veröffentlichung
13. September 2023
Erteilung
13. September 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L23/48H01L23/532// H01L21/288
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
International Business Machines Corporation
Land
🇺🇸 USA
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