System und Verfahren zum Prüfen einer Oberfläche eines Prüfobjekts

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3640628

Aktenzeichen

EP18200558

Anmeldetag

15. Oktober 2018

Veröffentlichung

6. März 2024

Erteilung

6. März 2024

Rechtsraum

EP

IPC

G01N21/88G01N21/94

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein System zum Prüfen einer Oberfläche eines Prüfobjekts aufweisend: eine Objektprüfstrecke, eine Objektbeleuchtungseinheit, die derart eingerichtet und angeordnet ist, dass sie in dem Betrieb des Systems das Prüfobjekt auf der Objektprüfstrecke mit elektromagnetischer Anregungsstrahlung mit einer ersten Wellenlänge beleuchtet, und eine Objekterfassungseinheit, die derart eingerichtet und angeordnet ist, dass sie in dem Betrieb des Systems von dem Prüfobjekt abgestrahlte elektromagnetische Lumineszenzstrahlung mit einer von der ersten Wellenlänge verschiedenen zweiten Wellenlänge erfasst, Objektdaten generiert und ausgibt. Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein solches System bereitzustellen, welches ohne aufwändiges Handling zum Positionieren des Prüfobjekts auskommt. Zur Lösung dieser Aufgabe wird vorgeschlagen, dass bei dem eingangs beschriebenen System die Objektbeleuchtungseinheit derart eingerichtet und angeordnet ist, dass sie das Prüfobjekt aus einer Mehrzahl von Raumrichtungen beleuchtet, die Objekterfassungseinheit derart eingerichtet und angeordnet ist, dass sie die Lumineszenzstrahlung von dem Prüfobjekt in einer Mehrzahl von Raumrichtungen erfasst, und die Objektprüfstrecke eine Flugstrecke ist, wobei das System derart eingerichtet und angeordnet ist, dass das Prüfobjekt in dem Betrieb des Systems die Objektprüfstrecke entlang fliegt.

Anmelder

Firmen

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete