Bildgebungselement, Bildgebungsvorrichtung und Bildgebungsverfahren

EP3640987 Art A1 22. April 2020

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3640987
Aktenzeichen
EP18817123
Anmeldetag
7. Mai 2018
Veröffentlichung
22. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/146G02B5/20H04N5/369G02B26/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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