Verfahren zur Herstellung einer Tmd-Iii-V-Heterostruktur und einer Tfet-Vorrichtung

EP3640995 Art A1 22. April 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3640995
Aktenzeichen: EP18200443
Anmeldetag: 15. Oktober 2018
Veröffentlichung: 22. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/739H01L29/20H01L29/24H01L29/267H01L21/02H01L21/33

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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