Verfahren zur Atomlagenabscheidung für Selektives Filmwachstum

EP3642385 Art B1 31. Juli 2024

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3642385
Aktenzeichen: EP18733600
Anmeldetag: 22. Juni 2018
Veröffentlichung: 31. Juli 2024
Erteilung: 31. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04C23C16/14C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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