Elektrostatischer Träger für Chip-Bonding-Anwendungen

EP3642870 Art A1 29. April 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3642870
Aktenzeichen: EP18821500
Anmeldetag: 14. Juni 2018
Veröffentlichung: 29. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H01L21/67H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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