Verfahren zur Herstellung eines 3D-Halbleiterbauelements

EP3644350 Art A1 29. April 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3644350
Aktenzeichen: EP18202739
Anmeldetag: 26. Oktober 2018
Veröffentlichung: 29. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/822H01L21/8234H01L27/06H01L29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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