Verfahren zur Herstellung eines Trägers für eine Halbleiterstruktur

EP3646367 Art B1 28. September 2022

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3646367
Aktenzeichen
EP18733876
Anmeldetag
27. Juni 2018
Veröffentlichung
28. September 2022
Erteilung
28. September 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soitec
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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