Verfahren zur Herstellung eines Trägers für eine Halbleiterstruktur
EP3646367
Art B1
28. September 2022
Anmelder: Soitec 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3646367
- Aktenzeichen
- EP18733876
- Anmeldetag
- 27. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 28. September 2022
- Erteilung
- 28. September 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Soitec
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Soitec
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
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