Plasmabehandlungsvorrichtung

EP3648553 Art B1 19. Mai 2021

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3648553
Aktenzeichen: EP18823378
Anmeldetag: 26. Juni 2018
Veröffentlichung: 19. Mai 2021
Erteilung: 19. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01J37/34H05H1/46C23C14/34B01J19/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von