Siliziumcarbid-Filtermembran und Verwendungsverfahren

EP3648876 Art A1 13. Mai 2020

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3648876
Aktenzeichen
EP18828602
Anmeldetag
3. Juli 2018
Veröffentlichung
13. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
B01D71/02B01D69/12G03F7/20H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen