Siliziumnitridfilme mit Hohem Stickstoffgehalt

EP3649270 Art B1 27. März 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3649270
Aktenzeichen: EP18828805
Anmeldetag: 5. Juli 2018
Veröffentlichung: 27. März 2024
Erteilung: 27. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C23C16/04C23C16/452C23C16/455C23C16/505C23C16/34C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von