Verbesserungen an oder in Zusammenhang mit Pumpenleitungsanordnungen

EP3649271 Art B1 9. November 2022

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3649271
Aktenzeichen
EP18742540
Anmeldetag
3. Juli 2018
Veröffentlichung
9. November 2022
Erteilung
9. November 2022
Rechtsraum
EP
IPC
F04B41/06C23C16/44H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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