Optisch Kontaktierte Akusto-Optische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung davon

EP3649508 Art B1 5. April 2023

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3649508
Aktenzeichen: EP18828356
Anmeldetag: 19. Juni 2018
Veröffentlichung: 5. April 2023
Erteilung: 5. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/33

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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