Vorrichtung zur Detektion von Mikrowellenfeldern in einem Hohlraum

EP3652548 Art A1 20. Mai 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3652548
Aktenzeichen: EP18831836
Anmeldetag: 10. Juli 2018
Veröffentlichung: 20. Mai 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01R29/08H01L21/67H05B6/64H05B6/80

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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