Verfahren zur Herstellung einer Integrierten Mems-Wandlervorrichtung und Integrierte Mems-Wandlervorrichtung
Anmelder: Sciosense B.V., ams International AG 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3653567
- Aktenzeichen
- EP18207101
- Anmeldetag
- 19. November 2018
- Veröffentlichung
- 10. Januar 2024
- Erteilung
- 10. Januar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
A method for manufacturing an integrated micro-electromechanical systems, MEMS, transducer device, comprises providing a substrate body (1) with a surface, depositing an etch-stop layer (8), ESL, on the surface, depositing a sacrificial layer (3) on the ESL (8), depositing a diaphragm layer (6) on the sacrificial layer (3), and removing the sacrificial layer (3). Depositing the sacrificial layer (3) comprises depositing a first sub-layer (4) of a first material and depositing a second sub-layer (5) of a second material, wherein the first and the second material are different materials.
Anmelder
- Firmen
- Sciosense B.V.
ams International AG - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Ams International ist die schweizerische Konzerneinheit von ams OSRAM, einem Hersteller von Sensoren und optischen Halbleiterkomponenten. Der Anmelder konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Elektronik, Nachrichtentechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2009 bis in die Gegenwart.
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