Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit Nanodraht Feldeffekt-Transistoren

EP3653568 Art B1 19. Oktober 2022

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3653568
Aktenzeichen: EP18206267
Anmeldetag: 14. November 2018
Veröffentlichung: 19. Oktober 2022
Erteilung: 19. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: B82Y10/00H01L29/06H01L29/10H01L21/8234H01L27/088H01L29/775H01L21/336// H01L21/8238H01L27/092

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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