Vakuumpumpe und Diagnoseverfahren für Temperaturanpassungsfunktionseinheit

EP3653883 Art B1 26. Februar 2025

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3653883
Aktenzeichen
EP18831905
Anmeldetag
6. Juli 2018
Veröffentlichung
26. Februar 2025
Erteilung
26. Februar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/14F04B49/10F04B51/00F04D19/04F04D27/00F04D29/58
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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